현재 전 세계적으로 기계적으로 기능하는 대부분의 경질 필름(특히 절삭 공구에 사용되는 필름)은 음극 아크 증착 기술을 사용합니다. 애플리케이션 성능; 특히 국산 음극아크증착장비의 입자 문제가 특히 심각하다. 이 기술을 기반으로 한 자기 여과 기술의 도입은 표면에 입자가 증착되는 문제를 해결할 수 있지만 증착 효율은 원래의 약 1/10에 불과하고 증착 면적이 작아 생산주기가 길고, 제조 비용이 높고 대량 코팅에 적합하지 않습니다. 생산 응용 프로그램. 마그네트론 스퍼터링 기술로 준비된 막의 표면은 매끄럽고 섬세하며 증착 속도가 적당하며 넓은 영역에서 필름을 균일하게 증착할 수 있습니다. 그러나 마그네트론 스퍼터링 기술은 또한 낮은 이온화율(일반적으로 10%)을 가지며 준비된 필름은 경도, 내마모성 및 결합력 측면에서 음극 아크 기술로 제조된 필름만큼 좋지 않습니다. 화학 반응성 코팅이 수행됩니다. (TiN, TiO2 등) 금속 입자의 낮은 이온화 속도와 낮은 반응성으로 인해 반응성 가스를 과도하게 도입해야 마그네트론 타겟 표면의 중독(화학 반응)을 일으켜 날카로운 눈사태와 같은 일련의 눈사태를 일으킵니다. 증발 속도 감소. 결과적으로 마그네트론 스퍼터링 반응성 코팅은 불안정하고 제어할 수 없습니다.
따라서 다음이 있습니다. 다기능 이온 진공 코팅기 시장에. 수많은 실험과 산업 응용을 통해 프로젝트는 다음과 같은 결론에 도달했습니다.
(1) 다중 코팅 기술로 설계된 다기능 이온 코팅기는 성공적이며 확립된 코팅 시스템의 종합적인 성능은 중국에서 선도적인 위치에 있습니다.
(2) 장비는 매끄럽고 조밀한 표면, 매끄럽고 섬세한 표면, 대면적 및 저비용에서 우수한 성능을 갖는 다이아몬드형 필름 및 금속 질소(또는 탄소) 화합물 다층 필름을 제조할 수 있다.
(3) 특수 다층 구배 중간 전이층 및 도핑 기술의 사용은 내부 응력을 감소시키고 필름/기판 결합력을 향상시키며 필름 층(최대 6mm 두께)의 성장에 도움이 됩니다.
(4) 제조된 DLC 필름은 경도>20GPa(최대 37.25GPa), 조정 가능한 두께(최대 6mm 두께), 필름/베이스 결합력>50N(최대 100N), 마찰 계수 <0.2, 필름은 부드럽고 섬세합니다.
(5) 개발된 매트릭스/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC 다층 내마모성 및 내열성 자가 윤활 코팅은 포괄적인 특성이 우수합니다. 경도는 최대 28.7GPa이고 두께는 ~에서 조정 가능합니다. 1-4mm 및 필름 /베이스 결합력은 70N보다 크고 마찰 계수는 0.2 미만입니다.
(6) 개발된 내마모성 마찰 방지 필름은 다양한 고정밀 금형 및 정밀 핵심 부품에 성공적으로 적용되었습니다. 적용 결과는 필름 층의 표면 강화 효과가 현저하여 제품 품질과 서비스 수명을 크게 향상시킬 수 있음을 보여줍니다.
멀티 아크 이온 플레이팅은 진공 상태에서 증착 분야에 다양한 가스 방전 모드를 도입합니다. 전체 증착 공정은 플라즈마 공정에서 수행됩니다. 금속 제품의 표면 뿐만 아니라 비금속 제품의 표면에도 코팅이 가능합니다. 그것은 금속 필름, 티타늄 질화물, 티타늄 탄화물, 지르코늄 질화물, 크롬 질화물, 티타늄 산화물 및 다른 필름으로 도금될 수 있습니다.