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그만큼 다기능 진공 코팅기 마그네트론 스퍼터링, 다중 아크 이온 및 증발 코팅의 하이브리드 장비입니다. 멀티아크 이온 코팅기를 기반으로 원통형 타겟 또는 평면 마그네트론 타겟을 장착하고 있습니다. 장비는 이온 도금의 높은 이온화 속도를 가지고 있습니다. , 높은 증착 속도의 특성, 또한 다양한 복합 필름 도금에 적합한 마그네트론 스퍼터링의 저온 및 안정성의 장점이 있습니다.
다기능 진공 코팅기 - 마그네트론, 중간 주파수, 다중 아크 이온 코팅 특정 소개:
① 증산 및 마그네트론 스퍼터링의 혼합 장비: 다기능, 대량 생산에 적합하고 강한 적응성.
② 마그네트론 스퍼터링과 다중 아크 이온 도금의 혼합 적용: 다중 아크는 쉘링 세척의 품질을 향상시키고 필름과 기판 사이의 결합력을 증가시킬 수 있습니다. 마그네트론 스퍼터링과 함께 작동하여 복합막을 형성할 수 있습니다(고에너지 이온 소스에 의한 세정 및 활성화, 막 형성 속도가 빠름).
③ 여러 쌍의 중간 주파수 마그네트론 스퍼터링 타겟과 원주형 아크 이온 도금의 혼합 사용: 중간 주파수 타겟은 높은 이온화 속도, 빠른 축적 속도 및 균일한 막 형성으로 더 안정적입니다(예: Al). SiO2 및 TiO2 도금과 같은 중간 주파수 반응성 스퍼터링은 서로 다른 원료의 여러 층을 동시에 코팅하는 데 사용됩니다.
④ RF, DC, IF 및 column arc의 혼합 적용: RF는 절연 보호 필름 SiO2/Ag/SiO2를 직접 코팅할 수 있습니다.
⑤ 원통형 아크, 중간 주파수 및 다중 아크의 혼합 사용: 원통형 아크는 높은 이온화 속도를 보장하고 큰 입자 축적의 비율을 줄이며 우수한 결합력 및 우수한 표면 조도의 효과를 달성합니다. 다기능 진공 코팅기는 시계 줄, 시계 케이스, 안경테, 휴대폰 케이스, 골프 장비, 위생 용품, 액세서리 등과 같은 중급 및 고급 상품에 적합합니다.
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