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그만큼 마그네트론 스퍼터링 진공 코팅기 많은 구성 요소로 구성되며 각 구성 요소는 고유한 용도를 가지며 필수 불가결합니다. 마그네트론 스퍼터링 진공 코팅기는 진공 시스템, 기존 시스템, 가열 시스템, 냉각 시스템, 공정 공기 분배 시스템 및 마그네트론 스퍼터링 시스템으로 구성됩니다.
진공 시스템: 진공 시스템 장비는 진공 챔버 영역에 집중되어 있으며 펌핑 장비(기계식 펌프, 루츠 펌프, 분자 펌프), 테스트 장비(저항 게이지, 이온화 게이지, 멤브레인 게이지), 안전 밸브(캐비티 게이트 밸브, 분자 펌프) 플래퍼 밸브, 로터리 베인 펌프 루츠 펌프 자체 프라이밍 밸브, 파이프라인 밸브 및 공기 차단 밸브); 로터리 베인 펌프 > 루츠 펌프 > 분자 펌프 릴레이 펌핑을 통해 챔버 내부의 압력이 대기에서 진공으로 변경되며, 생산 공정 중 생산에 적합한 진공 환경을 유지합니다.
로터리 베인 진공 펌프의 작동 원리, 로터리 베인 펌프는 고정자, 로터, 로터리 베인, 고정 커버, 스프링 및 기타 부품으로 구성됩니다. 그 구조는 못 캐비티에 설치된 편심 로터(로터의 외부 원이 스테이터의 내면에 접하고 둘 사이의 간격이 매우 작음)와 로터 슬롯에서 미끄러지는 2개의 로터를 사용하고, 스프링 장력과 원심력에 의해 고정자의 내벽에 부착됩니다. 로터가 회전하면 항상 고정자의 내벽을 따라 미끄러집니다.
열전대 진공 게이지에서 일정한 세기의 전류가 열선으로 Pt 와이어를 통해 흐릅니다. 열평형에 도달한 후, 전류에 의해 제공되는 가열 전력은 공간 열 복사, 금속 열전도 및 기체 분자 열전도를 통해 손실되는 전력과 같습니다. 따라서 열선의 온도는 진공도에 따라 규칙적으로 변합니다.
Pirani 게이지는 열 저항 진공 게이지라고하며 작동 원리는 열전대 진공 게이지와 유사합니다. 종종 열전대 게이지와 함께 사용되는 고진공 게이지를 이온화 게이지라고 하며 고진공 범위에서 가장 일반적으로 사용되는 측정 도구입니다.
진공 필름형 진공 게이지는 금속 필름에 의존하여 가스 압력차의 작용으로 기계적 변위를 발생시키는 일종의 진공 게이지이므로 절대 가스 압력 측정에 사용할 수 있으며 측정 결과는 가스 유형과 관련이 없습니다. .
멤브레인 진공 게이지에는 두 개의 격리된 진공 챔버가 있습니다. 한 진공 챔버의 압력을 알고 다른 진공 챔버의 압력을 알 수 없는 경우 멤브레인의 변위는 두 챔버 사이의 압력 차이에 비례합니다. 비례, 측정의 정확도를 향상시키기 위해 필름과 다른 금속 전극 사이의 정전 용량 변화를 측정하여 필름 변위를 달성합니다.
넓은 범위에서 박막 진공 게이지는 좋은 선형성을 가지며 검출 한계는 약 10-3pa로 박막 변위의 검출은 하나의 원자 규모에 해당합니다.
마그네트론 스퍼터링 진공 코팅기의 전송 시스템: 기존 시스템에는 총 24개의 구동 모터가 있으며 각 로딩 및 언로딩 플랫폼에 4개, 공정 영역에 11개, 리턴 섹션에 5개가 있습니다. 전송 외에도 나머지 전극은 단방향 전송입니다.
고품질 스테인레스 스틸 304, 이중층 냉각수 설계의 전체 기계 본체
새로 개발된 여러 세트의 이온 아크 소스는 아크 소스 스퍼터링의 안정성과 균일성을 효과적으로 보장하기 위해 합리적으로 장착됩니다.
다중 채널 공기 흡입 시스템은 다양한 복합 필름에 대한 요구 사항을 충족하도록 가스 흐름을 정확하게 제어하기 위해 채택되었습니다.
펄스 바이어스 기술과 결합하여 전기 입자 에너지가 크게 향상되어 우수한 필름 접착 및 마감을 얻습니다.
장비는 주로 하드웨어 제품, 유리 공예품, 욕실 제품, 시계 및 시계, 칼, 금형, 크리스탈 유리, 골프 도구, 램프, 안경테, 세라믹 타일, 바닥 타일 등과 같은 세라믹 공예품에 널리 사용됩니다.
가공 재료: 스테인레스 스틸, 구리, 철, 아연 합금, 알루미늄, ABS, 유리, 세라믹 등
공정 재료의 표면 상태: 일반 전기 도금의 밝은 표면, 벙어리 표면(세미 벙어리, 전체 벙어리), 공정 전기 도금 주름, 브러시, 빗방울 등
도금 색상은 반투명, 골드, 실버, 로즈 골드, 블랙, 다크 블랙, 그린, 블루, 퍼플, 레인보우 등입니다.
+0574-62340101
