진공 코팅기의 기계식 펌프는 배압 펌프라고도 합니다. 기계식 펌프는 가장 널리 사용되는 저진공 펌프입니다. 오일을 사용하여 밀봉 효과를 유지하고 기계적 방법으로 펌프의 흡입 캐비티의 체적을 지속적으로 변경합니다. 펌핑된 용기의 가스 부피는 진공을 얻기 위해 지속적으로 팽창합니다. 기계식 펌프에는 여러 종류가 있으며 일반적으로 사용되는 네 가지 유형은 스풀 밸브식, 피스톤 왕복식, 고정식 베인식 및 회전식 베인식입니다.

진공 코팅기

진공 코팅기의 기계식 펌프의 구성. 기계식 펌프는 건조한 공기를 제거하는 데 자주 사용되지만 산소 함량이 높은 가스, 폭발성 및 부식성 가스는 제거할 수 없으며 일반적으로 기계식 펌프는 영구 가스를 제거하는 데 사용됩니다. , 그러나 수증기에 좋은 영향을 미치지 않으므로 수증기를 제거할 수 없습니다. 회전 날개 펌프의 주요 부품은 고정자, 회전자, 파편 등입니다. 회전자는 고정자 내부에 있지만 두 개의 내접원과 같이 고정자와 다른 맨드릴을 가지고 있습니다. 파편이 고정자의 내벽에 단단히 부착되어 있는지 확인합니다.

진공 코팅기의 기계식 펌프의 두 파편은 교대로 두 가지 역할을 합니다. 한편으로는 공기 유입구에서 가스가 흡입되고 다른 한편으로는 흡입된 가스가 압축되어 펌프 밖으로 가스가 배출됩니다. 펌프는 로터가 회전할 때마다 2회의 흡입과 2회의 배출을 완료합니다. 펌프가 시계 방향으로 계속 회전하면 로터리 베인 펌프는 공기 흡입구를 통해 지속적으로 가스를 흡입하고 배기구에서 지속적으로 토출하여 용기를 펌핑하는 목적을 달성합니다. 펌프의 궁극적인 진공도를 향상시키기 위해 펌프의 고정자가 오일에 잠기므로 틈을 채우기 위해 틈과 유해한 공간에 충분한 오일이 항상 유지되므로 오일이 윤활 역할을 합니다. 한편으로는, 다른 한편으로는. 한편으로는 틈과 유해한 공간을 밀봉 및 차단하는 역할을 하여 기체 분자가 다양한 채널을 통해 저압의 공간으로 역류하는 것을 방지합니다.

진공 코팅기의 기계식 펌프는 대기에서 작동하기 시작합니다. 주요 매개변수는 기계식 펌프의 설계 및 선택에 중요한 기초가 되는 최종 진공 및 펌핑 속도입니다. 1단 펌프는 대기에서 1.0*10-1PA의 극한 진공까지 용기를 펌핑할 수 있으며, 2단 기계식 펌프는 대기에서 6.7*10-2PA 또는 그 이상으로 용기를 펌핑할 수 있습니다.

펌핑율은 로터리 베인 펌프가 정격 회전수로 작동할 때 단위 시간당 토출될 수 있는 가스의 양을 말하며 다음 공식으로 계산할 수 있습니다.

Sth=2nVs=2nfsL

fs는 흡입 종료 시 캐비티의 단면적을 나타내고, L은 캐비티의 길이를 나타내고, 계수는 로터가 1회전당 2회의 배기 과정을 갖는 것을 나타내고, Vs는 로터가 수평 상태일 때를 나타냅니다. 위치에서 흡입이 종료되고 이때 캐비티의 부피가 가장 큽니다. , 속도는 n입니다.

진공 코팅기의 기계식 펌프의 배기 효과는 모터의 속도와 벨트의 조임과도 관련이 있습니다. 모터의 벨트가 상대적으로 느슨하고 모터의 속도가 매우 느리면 기계식 펌프의 배기 효과도 악화되므로 자주 유지 보수, 검사, 기계식 펌프 오일의 밀봉 효과가 필요합니다. 자주 점검할 것. 오일이 너무 적으면 밀봉 효과가 달성되지 않고 펌프에서 공기가 누출됩니다. 일반적으로 오일 레벨은 라인 아래 0.5cm입니다.