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진공 코팅 기계 진공로의 기능에 따라 분류할 수 있습니다
진공 코팅기는 산업에 따라 렌즈 진공 코팅기, 전자 제품 코팅기, 필터 코팅기 등으로 분류할 수 있습니다. 모두 포장용 진공 코팅기, 위조 방지 진공 코팅기, 축전기 감기 진공 코팅 기계 등등 감기 코팅 기계에 속합니다. 장식 이온 코팅 기계에 속하는 다중 아크 이온 진공 코팅 기계, 하드웨어 장식 진공 코팅 기계, 고진공 증발 코팅 기계, 세라믹 타일 진공 코팅 기계와 같은. 그러나 많은 사람들은 또한 진공로의 기능에 따라 분류됩니다. 다음은 진공로에 대한 자세한 소개입니다.
진공 코팅기
박막의 원리에 따라 스퍼터링 코팅, 이온 코팅, 증발 코팅 및 화학 기상 증착 코팅으로 나눌 수 있습니다. 적용 목적에 따라 광학 코팅, 권선 코팅, 장식 코팅, 태양열 집열기 튜브 코팅, 도구 코팅, 건축 코팅, 전도성 코팅 등으로 나눌 수 있습니다.
진공 증발 코팅기
증발 코팅 장비는 중국의 모든 코팅 장비 중 최초로 성공적으로 개발된 코팅 장비입니다. 1950년대 중국에서 성공적으로 개발되었습니다. 주로 광학 장비, 레이저 장비 및 마이크로 전자 장비 등에 사용되는 광학 필름을 코팅하기 위한 광학 코팅 장비와 장식에 사용되는 증착 코팅 원리에 의해 만들어진 권선 코팅 장비를 포함하여 많은 종류의 증착 코팅 장비가 있습니다. , 전자 장비 포장 및 기타 산업.
스퍼터링 코터
이온 타겟을 스퍼터링하고 기판에 증착하여 박막을 형성합니다. 스퍼터링 코팅 장비는 ITO 도전막, 유전체막, 반도체막, 금속막, 자성막, 고온초전도막, 단결정막, 데코레이션막 등 다양한 박막을 코팅할 수 있으며, 디스크막도금. 건설 산업에서 사용되는 커튼 월 유리 필름, 전자 산업의 커패시터 필름, 항공 우주 차량의 고체 평활 필름, 전력 및 가스, 포장, 적외선 기술 및 기타 여러 산업 분야의 태양 전지.
이온 코터
이온 도금 장비는 아크 이온 플레이팅, 무선 주파수 방전 이온 플레이팅, 중공 음극 이온 플레이팅 등으로 나눌 수 있습니다. 이온 플레이팅은 코팅 원리로 인해 빠른 증착 속도, 조밀한 코팅 품질 및 우수한 피막 접착력이 특징입니다. 그것은 도구, 금형 및 기타 산업 분야에서 널리 사용되며 금속 필름, 경질 필름, 모조 금 필름 등으로 도금 할 수 있습니다.
화학 기상 증착 장비
화학기상증착장비는 화학반응을 통해 필름을 만드는 방식으로 표면보호필름과 반도체, 전자재료 등을 코팅하는 데 사용할 수 있다.
이온빔 에칭 장비
반도체 산업의 초미세 처리 기술로서 에칭은 대규모 집적회로의 집적도가 증가함에 따라 없어서는 안될 중요한 장치가 되었습니다. 다른 화학적 부식, 플라즈마 스퍼터링 및 기타 기술과 비교하여 이온 빔 에칭 기술은 재료 처리에 대한 선택성이 없고 초미세 처리를 수행할 수 있으며 매우 미세한 홈을 에칭할 수 있습니다. 에칭 패턴의 가장자리가 선명하고 정확도가 높습니다. . 이온빔 식각 장비는 수직형과 수평형으로 나눌 수 있다. 국내 장비의 진공 시스템은 주로 오일 분산 펌프와 수냉식 배플을 기반으로하며 외국에서는 종종 극저온 펌핑 시스템을 사용합니다.
진공로
중국에서 진공로의 개발은 1950년대 후반에 시작되었습니다. 최초의 10kg 진공 유도로는 1958년 심양에서 개발되어 1960년에 판정되었습니다. 현재 중국에서 생산되는 진공로는 여러 종류가 있으며 크게 야금로와 열처리로로 나눌 수 있습니다. 그 중 야금로는 진공 저항로, 진공 소결로, 진공 전기 아크로, 진공 유도로, 단결정로 및 진공 납땜 장비 등을 포함합니다. 진공 열처리로는 진공 담금질로, 템퍼링로, 어닐링로, 침탄로, 글로우 이온 질화로 등을 포함합니다.
진공 저항로
진공 저항로는 진공 상태에서 공작물이나 재료를 가열하는 저항을 사용합니다. 주로 라이브, 불용성 금속 또는 일부 자성 합금의 어닐링 및 진공 탈기에 사용됩니다. 저항로는 다양한 방법에 따라 수직, 수평, 내부 가열, 외부 가열 등으로 나눌 수 있습니다.
진공 소결로
진공 소결로는 주로 초경합금, 세라믹 재료, 자성 재료, 희귀 내화물, 금속 분말 제품, 광전자 부품 및 기타 재료의 소결에 사용됩니다. 소결 처리에 대한 정보는 다릅니다. 진공 소결로는 최대 2,000℃의 고온 소결로와 진공도가 높은 고진공 소결로가 있습니다.
진공 아크로
진공 아크로는 아크 방전에 의해 발생하는 아크를 사용하여 공작물이나 재료를 녹입니다. 구리 방법과 함께 지르코늄 및 불용성 금속 밀링에 사용할 수 있습니다. 진공 전기로의 유형은 소모성로, 비소모성로 및 콘덴싱 쉘로 등으로 나눌 수 있습니다.
진공 유도로
진공유도로는 전자유도를 이용하여 도가니를 가열하고 진공상태에서 금속과 합금을 제련한다. 미세한 합금, 자성 재료, 활성 금속 및 불용성 금속을 제련할 수 있습니다.
진공 코팅기는 진공로의 기능에 따라 분류되며 대부분이 산업별로 분류됩니다. 그러나 산업 단위 및 진공로별로 분류하면 더 많습니다.
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