모델 | HY-1214 | HY-1416 | HY-1618 | HY-2020 |
챔버 크기 | Ø1200*1400mm | Ø1400*1600mm | Ø1600*1800mm | Ø2000*2000mm |
챔버 구조 | 수직 단일 도어, 수평 단일 도어, 수직 이중 도어 | |||
코팅 방법 | 바이어스 기술이 적용된 이온 | |||
궁극의 진공 | 8.0*10-4Pa(공하중) | |||
진공 시간 | 대기에서 5.0E-2까지 15분 미만의 공하중 | |||
소비재 | 티타늄, 크롬, 지르코늄, 철, 티타늄 및 알루미늄 합금, 모든 유형의 MF 및 DC 스퍼터링 타겟. | |||
코팅 색상 | 반투명, 골드, 실버, 로즈 골드, 블랙, 다크 블랙, 그린, 블루, 퍼플, 레인보우, TiN, ZrN, TiAlN, TiC, TiCN, CrN, Al2O3 등 | |||
제어 방법 | 완전 자동, 반자동, 수동, PLC 터치 스크린 | |||
특별 요구 사항 | 맞춤형 |