재료 | 증착 기술 | 밀도 g/cm3 | Sp3% | 경도 GPa | 마찰 계수 |
다이아몬드 | 자연스러운 | 3.52 | 100 | 100 | 0.02~0.10 |
A-C | 스퍼터링 | 1.9~2.4 | 25 | 11~24 | 0.10~0.15 |
a-C:H:M | 반응성 스퍼터링 | 1.9~2.4 |
| 10~20 | 0.10~0.20 |
a-C:H | RF 스퍼터링 | 1.57~1.70 |
| 16~40 | 0.02~0.47 |
a-C,a-C:H | 이온빔 | 1.8~3.5 |
| 32~75 | 0.06~0.19 |
타-C | 마그넷 필터 | 2.8~3.0 | 85~95 | 40~80 | 0.04~0.14 |
타-C | PLD | 2.4 | 85~95 | 40~80 | 0.03~0.15 |
나미 다이아몬드 | PLD | 2.9~3.5 | 75 | 80~100 |
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